硅烷化学气相沉积法是一种具有竞争力的多晶硅生产方法，其能耗及原料消耗指标达到国际先进水平。该方法实现了多晶硅生产工艺闭路循环，中间物料如四氯化硅、二氯二氢硅可循环利用，具有转化率高、能耗低、成本低、污染少等优点。
2012年7月，黄河公司开始进行硅烷法多晶硅生产工艺研究科技项目研究工作，通过对硅烷制备和硅烷法生产多晶硅的主要技术的研究并结合公司现有多晶硅装置情况，对硅烷法的工艺物料、辅助系统、自控仪表、安全、三废处理、装置布置、人员配备、项目工期、操作模式和投资效益估算等进行了详细的研究，最终完成了硅烷法多晶硅生产工艺研究科研项目。
